供应
供应
日本AMAYA株式会社天谷制作
高清光掩模兼容的旋转式清洗设备伍尔夫系列
与高清光掩模兼容的旋转式清洗设备
清洁溶液高速扩散到清洁表面
快速消除异物和反应产物
无水痕干燥
随着LSI变得越来越复杂，光掩模/光罩需要更高的清晰度和准确性。 我们的清洗设备有助于这些产品的高清洁度和产量提高，并合作生产更完整的产品。
配备使用功能水的旋转清洗单元，该单元可以通过工件旋转的离心力、臭氧水和添加氨的氢水排放去除有机物、金属离子和异物，直至检测极限水平。 通过切换和清洁每个清洁溶液，可以高速去除工件上的不纯沉积物，废液管理也是一种**的环境响应工具。
采用
替代RCA清洗液的清洗液和清洗方法 SPM→臭氧水 ・实现完整的室温清洗（无需高温工艺） ・减少口罩
上化学溶液的残留量
・更**的废液处理（ISO14000措施）
SC-1 → 氢水加氨
・MoSi半色调掩膜的蚀刻预防
| PSM *终清洁（无 SPM） | |||
|---|---|---|---|
| 类别 | 不。 | 项目 | 规范 |
| 空白 | 1 | 无颗粒 | >32纳米 |
| 2 | 预置% | ≧95% | |
| 图像层 （图案侧） | 3 | QZ 上的剩余软缺陷 | ≧0.05微米 （产率 ： 98%） |
| 4 | 移位器上剩余的软缺陷 | ≧0.05微米， ≦10个 （产率 ： 98%） | |
| 5 | SRAF（深色）缺失 | 没有遗漏 | |
| 6 | 图案损坏、静电放电、划痕 | 无损坏 | |
| 7 | 换档器变化（相位） | ≦-0.2 度，平均清洁 10 倍 | |
| 8 | 换档器（变速器） | ≦0.025%，平均清洁 10 倍 | |
| 9 | 换档器（CD 平均值） | ≦0.15nm，平均清洁度为10倍 | |
| 10 | 换档器（CD 范围） | ≦0.5nm，平均清洁度为10倍 | |
| 离子残基 | 11 | 化学残留物 （SO4） | ≦0.5 ppb |
| 12 | 化学残留物（NH4） | ≦17.0 ppb | |
| 清洗装置本体 | 7300毫米（宽） x 1410毫米（深） x 2300毫米（高） |
|---|---|
| 电源箱 | 1400毫米（宽） x 500毫米（深） x 2150毫米（高） |
| 化学溶液盒 | 2500毫米（宽） x 700毫米（深） x 2000毫米（高） |
| 过滤器框 | 2600毫米（宽） x 700毫米（深） x 2000毫米（高） |
| 热滴机组 | 1250毫米（宽） x 550毫米（深） x 1750毫米（高） |
| 氢水和碳酸水装置 | 1050毫米（宽） x 1500毫米（深） x 2000毫米（高） |
| 臭氧水机组 | 570毫米（宽） x 850毫米（深） x 2000毫米（高） |
| 效用 | ・三相200V、・单相100V、・DIW、・冷却水、・清洁干燥空气、・氮气、・一般排气、・酸性排气、・碱性排气 |
|---|
摘要:日本TOYO东洋电机防雷变压
[详细]
摘要:日本TOYO东洋电机自用式光
[详细]
摘要:日本TOYO东洋电机干式变压
[详细]
摘要:日本TOYO东洋电机K-rate变
[详细]
摘要:日本TOYO东洋电机非晶干式
[详细]
摘要:日本TOYO东洋电机薄型干式
[详细]
摘要:日本TOYO东洋电机光伏发电
[详细]
摘要:日本TOYO东洋电机干式变压
[详细]
食用菌加湿器 小型球磨机 液体搅拌机 中草药粉碎机 药品包装机 硅橡胶捏合机 除湿干燥机 酸碱储罐 全自动煎药机 医用臭氧发生器 三相卧螺离心机 圆瓶贴标机 肝素钠原料药 冷冻干燥设备 全自动压滤机 小型贴标机 单效蒸发器 电热水锅炉 气流干燥机 气流喷雾干燥机 润滑油过滤器 中药材粉碎机 生物试剂网 质谱仪 手摇制丸机 卧式储罐 不锈钢压滤机 小型压滤机 微孔过滤器 微波干燥设备 微粒检测仪 气动振动器 水泥包装机 卧螺沉降离心机 瓶盖扭矩测试仪 袋泡茶包装机 中药超细磨粉机 分离机 测距仪 乳化泵 集菌仪 自动筛选机 双轴搅拌机 小型超微粉碎机 化工储罐 电热锅炉 陶瓷过滤机 移动螺旋输送机 小型砂浆搅拌机 药品检测仪器 装箱机 制冷压缩机 粉末混合机 钢衬塑储罐 小型中药粉碎机 药物中间体 离子交换设备 管道除湿机 不锈钢截止阀 锤式粉碎机 尿碘消解仪 石墨换热器 红外测温仪 卧式干粉混合机 食品搅拌机 不锈钢搅拌机 液氧储罐 紫外线灭菌器 蒸汽消音器 蒸汽消声器 小型蒸汽锅炉 不锈钢安全阀 膏体灌装机 风选设备 打码机种类 瓶盖扭力测试仪 大型臭氧发生器 二手反应釜 三轴搅拌桩机 小型电热烘箱 低温截止阀 立式储罐 立式混合机 三轴水泥搅拌桩 调温除湿机 卧式离心机 球磨机小型 吸塑包装机 药材烘干机 板框过滤机 地下室除湿机 多效蒸发器 管壳式换热器 犁刀混合机 检测仪器网 生物显微镜 环保蒸汽锅炉 低温冷冻机 干粉搅拌机 列管式换热器 小型搅拌搅拌机 二手反应釜 高压灭菌锅 压力安全阀 真空热水锅炉 污泥压滤机 吊顶除湿机 节能球磨机 汽车高压清洗机 水热反应釜 振动筛选机 制水设备 溶出度仪 余氯分析仪 激光印字机 不锈钢储罐 不锈钢贮罐 家用电锅炉 加氢反应釜 饮料灌装机 喷雾干燥器 粉体混合机 小型泥浆搅拌机 机械搅拌器 水泥砂浆搅拌机 高速混合机 蒸馏设备 煎炸油过滤机 容积式换热器 小型冷库 小冷却塔 干燥设备网 厢式压滤机 箱式压滤机 家用粉碎机 紫外线消毒器 小蒸汽锅炉 自力式减压阀 仓壁振动器 干燥剂包装机 蒸汽换热器
