主要技术参数
TL1200双管管式炉
| 型号 | TL1200-D-C-I | TL1200-D-C-II |
功率 | 3.6KW | 3.6KW | |
外管尺寸(mm) | Dia 80(ID73)X1500 | Dia 100(ID93) X1500 | |
内管尺寸(mm) | Dia 60(ID53)X1700 | Dia 80(ID73)X1700 | |
外形尺(LXDXH) | 2000X700X1500 | 2000X700X1500 | |
电源电压 | 220V | ||
相数 | 单相 | ||
加热元件 | 进口瑞典Canthal A1 电阻丝 点击进入资料下载 | ||
控制方式
| 采用宇电程序控温仪表(标配) 1、30段程序控温智能PID调节。 2、具有过温保护 断偶保护过温或断偶时电炉加热电路自动切断,,(当电炉温度超过1200度或热电偶烧断时, 主电路上的交流继电器会自动断开,主电路断开,面板上ON灯熄灭,OFF灯亮,有限的保护电炉)。 3、带有485 通讯接口(选购软件时标配) 4、具有断电保护功能,即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。 5、仪表具有温度自整定的功能 (更换进口仪表,需要另外付费,选购)
FP93控温仪表 欧陆仪表 触摸屏仪表 (日本岛电) | ||
控温模式 | 智能PID | ||
断偶保护和显示 | 有 | ||
过温保护 | 有 | ||
过流保护 | 有 | ||
控制精度 | +/- 1 ℃ | ||
触发器 | 移相触发 | ||
电器 | 浙江正泰 | ||
可控硅 | 106/16E 德国西门康 | ||
温度 | 1200 ℃ | ||
额定温度 | 1100 ℃ | ||
升温速率 | ≤30 ℃/ Min (可根据要求修改) | ||
推荐升温速率 | ≤15℃/ Min | ||
热电偶型号 | K 型 | ||
加热段长度 | 205+205mm | ||
电器认证 | | ||
四周表面温度 | ≤45℃ | ||
GX供气系统主要参数
| 流量控制和检测采用
D07-7C 质量流量计
| 量程和气体 | 采用质子流量控制器 5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM (你可以任意选择量程和所通气体的类型) |
耐压 | 3MP | ||
流量控制精度 | ±1.0%F.S | ||
工作(使用)压力 | 0.3MPa | ||
线性 | ±0.5%F.S. | ||
重复精度 | ±0.2% F.S | ||
路数 | 1 、2、3、4、5、6、7、8 路(可任意选择几路) | ||
接头类型 | 双卡套不锈钢接头 | ||
系统工作压力范围 | 0.1~0.5 MPa | ||
工作温度 | 5-45℃ | ||
压力真空表表 | -0.1~0.15MPa 0.01MPa/格 | ||
静态混气室 | Dia50 X 400MM | ||
接口 | Dia6 1/4” | ||
VS-0.1抽气系统
| 电源 | 220V | |
尺寸 | 600X600X600 | ||
波纹管 | KF25X1000mm | ||
用该系统抽炉管真空度可达 | 10 -1Pa | ||
真空挡板阀 | KF25 | ||
VRD-8真空泵
| 型号 | VRD-8 | |
极限分压强 | 5X10-2 Pa | ||
进排气接口 | KF25 | ||
电机转速 | 1440RPM | ||
抽气速率 | 2.2L/S | ||
电机功率 | 0.4KW | ||
(方案二) | 型号 | ACP15 | |
电源 | AC100~240V 50/60HZ | ||
功率 | 450W | ||
抽、排气接口 | KF25 | ||
重量 | 25KG | ||
氦气漏率 | 5 · 10-8 Pa m3/s | ||
极限真空度 | 0.02 Torr | ||
抽气速率 | 14 m3/h | ||
电阻真空计 | 型号 | ZDR-1 | |
功率 | 25W | ||
真空度测量范围 | 0.1-10 5 Pa | ||
电阻硅 | ZJ-52T | ||
瑞典(INFICON)皮拉尼陶瓷电容真空计 (选购)
| 型号 | PCG554 | |
输入电压 | 24V 1A DC(配有220V变压器) | ||
真空计接口 | KF16 | ||
数字显示 | 数字显示(屏幕尺寸为20x14mm),其数据显示单位为torr | ||
产品尺寸 | 46mm×28mm×126mm ( L x W x H) | ||
重量 | 5 lbs | ||
检测气体 | 可检测各种气体,包括混合气体,测量精确、重复性好。 | ||
是否防腐 | 防腐 | ||
响应时间 | ≤30ms | ||
测量范围 | 3.8x10-5 -1125 Torr. | ||
分子泵机组(选购) | 机组输入电压 | 380V /220V | |
波纹管 | KF40X1000 | ||
真空挡板阀 | KF40 | ||
机箱尺寸 | 600X600X600 | ||
分子泵
| 分子泵型号 | FJ620 | |
输入电压 | 380V | ||
分子泵进气口法兰 | DN160 | ||
分子泵抽气速率L/S(对空气) | 600 | ||
分子泵极限压强(Pa) | 6×10-7 | ||
冷却方式 | 水冷 | ||
冷却水压(MPa) | 0.1-0.2 | ||
冷却水温度 | <25℃< p=""> | ||
环境温度 | 0~40℃ | ||
建议启东压强 | <100pa< p=""> | ||
前机真空泵RVP-6 (方案一)
| 功率 | 0.75KW | |
电压 | 380V | ||
转速 | 1450rpm | ||
进气口径 | KF25/KF40 | ||
前机泵抽气速率(L/S) | 6 | ||
极限压强 | 4X10 -2Pa | ||
德国Pfeiffer真空泵(方案二)
| 电压 | 220V | |
功率 | 110W | ||
抽气接口 | KF40 | ||
重量 | 150KG | ||
前机泵抽速 | 0.9m 3/ h | ||
抽气速率(N2) | 33L/S | ||
复合真空计 | 复合真空计型号 | ZDF | |
电源 | 220V 55W | ||
控制精度 | ± 1% | ||
真空计测量范围 | 10-5 -10 5 Pa |
CVD系统 由供气系统+双管管式炉+抽气系统 ,温度可以达到1200度,可以是单温区、双温区、三温区等,极限真空可以达到10-3Pa,供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计,混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。
这款CVD系统是由3路供气系统+TL1200双管管式炉+低真空系统组成
双管管式炉不同于普通的管式炉,他是由双管组成、衬底包覆在内管上、形成一个环状,这样能够大大的提高CVD生长的面积。
滑动式双管炉是一种特殊的CVD系统,是专门为在金属箔(像铜箔、铝箔等)上生长薄膜而设计,广泛应用在新一代能源关于柔性金属箔电极方面的研究上,特别适用于碳纳米管、碳纳米线、石墨烯的生长。这款双管式炉以进口电阻丝康泰尔(Canthal)为加热元件,采用双层壳体结构和宇电控温仪表,能进行30段程序控温,移相触发、可控硅控制,炉膛采用日本进口氧化铝多晶纤维材料,具有温场均衡、表面温度低、节能等优点。
双管管式炉炉底安装一对滑轨,可用手推滑动。加热和冷却速率可达100°C/min。为取得快速加热,可以预先加热炉子到设定的温度,然后移动炉子到样品位置。为获得快速冷却,可在样品加热后移动炉子到另一端。加热和冷却速率在真空或者惰性气体环境下可以达到10°C/s,是低成本快速热处理的理想炉子。
1、瑞典Kanthal A1 电阻丝
Kanthal A1 原丝 国产电阻丝炉膛 VS 进口电阻丝炉膛
(1)、表面温度高可达1420℃
(2)、表面为不锈钢色(非常亮、客户识别时要注意)、不会生锈,使用时间再长都不会掉渣。
(3)、Kanthal电阻丝资料下载
(4)、Kanthal电阻丝网站:
(5)、电阻均衡、温场均衡性好
大部分厂家使用的首钢生产的Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo 电阻丝 Kanthal A1 电阻丝 电阻均匀 、 发热量均衡
有时候电阻不均衡、一部分发热量大一部分发热量小 温场效果好
2、安装有空气开关和漏电保护器:
当电路过流或漏电时,空开会自动断开。
、
3、可以与电脑连接
该炉配有通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出
4、炉膛
1、真空吸滤成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。
2、采用成型。
3、炉膛里电阻丝的间距和节距全部按日本成熟的热工技术布置、经过热工软件模拟温场
4、采用4周加热,温场更加均衡
5、可选UL认证电气板 (全部通过UL认证的进口电器)
6、认证
7、法兰
铰链式法兰(选购) 可以接电阻真空计和KF25波纹管的法兰(选购) 水冷法兰(选购)
可调真空:通过调节真空挡板阀阀门开关和用微电脑调节真空泵电机的转速来实现双管管式炉内真空度在10-10000Pa之间某一范围内恒定。
双管CVD系统标准配件
描叙 | 数量 | 图片 |
TL1200双管管式炉 | 1 套 |
|
石英管(内外石英管) | 各1根 | |
双管不锈钢法兰 | 1 套 |
右法兰 左法兰
|
不锈钢炉钩 | 1 个 | |
氧化铝炉塞 | 1对 | |
高温手套 | 1 双 | |
氧化铝坩埚 | 1 个 | |
K型热电偶 | 1个 | ![]() |
485转换接口和软件(选配) | 1 套 | |
说明书 | 1本 | |
法兰支撑架 | 1 份 | |
供气系统
| 1台 | ![]() |
抽气系统 | 1台 | ![]() |
卡套 | 4个 | ![]() |
波纹管 | 1支 | ![]() |
真空挡板阀 | 1个 | ![]() |
钢瓶接头(N代表路数) | N个 | ![]() |
阀门接头 | 2 | ![]() |
聚四氟乙烯管(N代表路数) | NX5 | ![]() |
食用菌加湿器 小型球磨机 液体搅拌机 中草药粉碎机 药品包装机 硅橡胶捏合机 除湿干燥机 酸碱储罐 全自动煎药机 医用臭氧发生器 三相卧螺离心机 圆瓶贴标机 肝素钠原料药 冷冻干燥设备 全自动压滤机 小型贴标机 单效蒸发器 电热水锅炉 气流干燥机 气流喷雾干燥机 润滑油过滤器 中药材粉碎机 生物试剂网 质谱仪 手摇制丸机 卧式储罐 不锈钢压滤机 小型压滤机 微孔过滤器 微波干燥设备 微粒检测仪 气动振动器 水泥包装机 卧螺沉降离心机 瓶盖扭矩测试仪 袋泡茶包装机 中药超细磨粉机 分离机 测距仪 乳化泵 集菌仪 自动筛选机 双轴搅拌机 小型超微粉碎机 化工储罐 电热锅炉 陶瓷过滤机 移动螺旋输送机 小型砂浆搅拌机 药品检测仪器 装箱机 制冷压缩机 粉末混合机 钢衬塑储罐 小型中药粉碎机 药物中间体 离子交换设备 管道除湿机 不锈钢截止阀 锤式粉碎机 尿碘消解仪 石墨换热器 红外测温仪 卧式干粉混合机 食品搅拌机 不锈钢搅拌机 液氧储罐 紫外线灭菌器 蒸汽消音器 蒸汽消声器 小型蒸汽锅炉 不锈钢安全阀 膏体灌装机 风选设备 打码机种类 瓶盖扭力测试仪 大型臭氧发生器 二手反应釜 三轴搅拌桩机 小型电热烘箱 低温截止阀 立式储罐 立式混合机 三轴水泥搅拌桩 调温除湿机 卧式离心机 球磨机小型 吸塑包装机 药材烘干机 板框过滤机 地下室除湿机 多效蒸发器 管壳式换热器 犁刀混合机 检测仪器网 生物显微镜 环保蒸汽锅炉 低温冷冻机 干粉搅拌机 列管式换热器 小型搅拌搅拌机 二手反应釜 高压灭菌锅 压力安全阀 真空热水锅炉 污泥压滤机 吊顶除湿机 节能球磨机 汽车高压清洗机 水热反应釜 振动筛选机 制水设备 溶出度仪 余氯分析仪 激光印字机 不锈钢储罐 不锈钢贮罐 家用电锅炉 加氢反应釜 饮料灌装机 喷雾干燥器 粉体混合机 小型泥浆搅拌机 机械搅拌器 水泥砂浆搅拌机 高速混合机 蒸馏设备 煎炸油过滤机 容积式换热器 小型冷库 小冷却塔 干燥设备网 厢式压滤机 箱式压滤机 家用粉碎机 紫外线消毒器 小蒸汽锅炉 自力式减压阀 仓壁振动器 干燥剂包装机 蒸汽换热器