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产品特点
u 7寸彩色触摸屏互动操作界面，自动控制监测工艺参数状态，20个配方程序，工艺数据可存储追溯。
u PLC工控机控制整个去胶过程，手动、自动两种工作模式。
u 石英真空舱，全真空管路系统采用316不锈钢材质，耐腐蚀无污染。
u 可选用石英舟，更适合晶元硅片去胶应用。
u 采用花洒式多孔道进气方式，改变单孔进气不均匀问题。
u 采用防腐数字流量计，实现对气体输入精准控制。标配双路气体输送系统，可选多气路气体输送系统，气体分配均匀。可输入氧气、氩气、氮气、氢气或混合气等气体。
u HEPA高效过滤，气体返填吹扫，防止二次污染。
u 处理高效均匀，效率高，工艺重复性好。
u 样品处理温度低，无热损伤和热氧化。
u 安全保护，舱门打开，自动关闭电源，机器运行、停止提示。
技术参数
型号 | 5系列 | 5plus系列 |
舱体尺寸 | D300xΦ150mm | D300xΦ150mm |
舱体容积 | 5.2L | 5.2L |
舱体材质 | 石英玻璃 | 石英玻璃 |
射频电源 | 40KHz | 13.56MHz |
匹配器 | 自动匹配 | 自动匹配 |
激发方式 | 电感耦合（ICP） | 电感耦合（ICP） |
射频功率 | 10-1000W可调 | 10-300W可调（可选10-600W） |
处理尺寸 | Φ150m | Φ150m |
气体控制 | 质量流量计（MFC）（标配单路，可选双路）流量范围0-500SCCM（可调） | |
工艺气体 | Ar、N₂、O₂、H₂或其他混合气体等（可选） | |
时间设定 | 1-99分59秒 | |
真空泵 | 抽速约8m³/h | |
气体稳定时间 | 1分钟 | |
极限真空 | ≤1Pa | |
产品尺寸 | L550xW550xH420mm | |
包装尺寸 | L650xW610xH620mm | |
电源 | AC220V 50/60Hz，1152/452(752)W所有配线符合《低压配电设计规范GB50054-95》、《低压配电装置及线路设计规范》等国标标准相关规定。 | |
整机重量 | 52kg | |
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