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制药网供应网 通用机械及设备 泵浦 真空泵STP-iXA4506 真空磁悬浮涡轮分子泵

STP-iXA4506 真空磁悬浮涡轮分子泵

  • 产地
  • 所在地
  • 暂无
  • 上海上海

更新时间:2025-03-20

有效日期:还剩91

製品概要

Edwards STP-iXA4506 系列磁悬浮涡轮分子泵 (TMP) 使用的,为如今具有挑战性的应用提供业内的性能、更好的气流能力和高温管理。

用途

  • 金属(铝)、钨和电介质(氧化物)以及多晶硅等离子刻蚀(氯化物、氟化物和溴化物)
  • 电子回旋共振 (ECR) 刻蚀
  • 薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
  • 溅射
  • 离子注入源,射束线泵送和站

特性与优势

    • 由于采用全集成控制器和电源,不需要电缆和单独的
    • 控制器安装卡槽,从而使 TMP 组件具有成本效益且结构紧凑,能够快速简单地安装在狭小的空间。
    • 大连续流量达 4300 sccm (N2),与 STP-XA4503 相比性能提高 50% 以上。
    • 使用高 35 °C 的冷却水供应时,泵能够高效运转。
    • 提供了温度管理系统 (TMS) 装置,用于处理在过程中产生的副产品。
    • I/O 远程、RS232C、RS485、STP-Link 是标配端口。
    • UL 标记,CE 标记,符合 SEMI-S2 和 RoHS 标准。

数据

法兰
KF40
抽取速度

N2/H2 升/秒
VG300
3800/2700
ISO320F
4000/2700
VG350
4300/2700
VG400
4300/2700
压缩比 N2/H2
>108 / 103
极限压力 Pa (Torr) 10-7(10-9)
允许的前级压力 Pa (Torr) 266(2)
大气体流速 N2 1
4300
(仅水冷却) (Pa m3/sec) (7.26)
大气体流速 Ar 1
2600
(仅水冷却) (Pa m3/sec) (4.39)
额定速度 rpm 24,240
启动时间 分钟 11
固定位置
任何方向
输入电压 V 200-240
大输入功率

不带 TMS VA 1700
带 TMS VA 2200
重量 kg
VG300
109
ISO320F
111
VG350
104
VG400
111


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上海赫哲真空设备有限公司

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商家概况

主营产品:
真空泵、真空油品、真空泵维修包等相关设备配件
公司性质:
代理商

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