SIPV25P，气动真空软启动阀，密封式波纹管，铝制阀体

这类阀是软启动的气动操作管线阀，带有可更换的孔板，可为湍急气流会导致微粒污染问题的制程提供受控的制程抽气。

随动阀和主阀的组合使得初始泵送可以缓慢进行，以尽可能减少干扰。随动阀和主阀都需要单独的气动连接。

• 当随动阀打开时，气流以较低流速在阀的两侧间流过可更换孔板，实现慢抽速。达到用户的预定义压力级别后，主阀门会根据用户提供的信号打开，实现全通径泵送。
  波纹管密封的阀门单向执行，采用气动打开，弹簧封闭。产品随附三个可更换孔板，以使泵的性能符合您的制程需要。标准配置中包含一个微开关，用于指示阀门状态。阀门和微开关都可以加热到 100°C 以加速脱气，防止制程气体在阀门内冷凝。
  尽管阀门主要设计用于半导体行业，但也可以用在其他需要受控抽气的应用中。