LEXT OLS4100是一款激光扫描显微镜,通过非接触的方式进行样品表面三维形貌观察和测量。分辨率达10nm,可以方便快捷地获取影像,同时配备丰富的测量功能。
的测量
多层模式
LEXT OLS4100 全新的多层模式则可以识别多层样品各层上反射光强度的峰值区域,并将各层设为焦点,这样即可实现对透明样品上表面的观察和测量,而且也可以对多层样品的各层进行分析和厚度测量。
观察/测量透明材料的各个层
多层模式可实现对透明样品的顶部的透明层进行观察和测量。即使在玻璃基片上覆有一层透明树脂层,也可测量出各层的形状和粗糙度以及表面覆膜的厚度。
可以测量轮廓截面上任意两点之间的高低差异。 轮廓测量也同样可用
可以测量线粗糙度,以及平面整体的面粗糙度。
根据设置在轮廓截面上的任意阈值,可以测量其上部或下部的体积。
可以通过分离功能使粒子自动分离,设置阈值,根据ROI 设置检测范围。
可以测量影像上任意两点之间的距离。还可以测量任意区域的面积。
可以根据测出的对焦位置,测量透明介质的膜厚。
可以自动寻边,测量线宽和圆,减少人为的测量误差。
工作流程解决方案,实现了优秀的图像分析
对于粒子尺寸分析或非金属夹杂物级别的测量,可以使用OLYMPUS Stream 显微图像软件,该软件可以从OLS4100 直接上传。
作为表面粗糙度测量的新标准,奥林巴斯开发了LEXT OLS4100。对LEXT OLS4100 进行了与接触式表面粗糙度测量仪同样的校正,并在LEXT OLS4100 上配置了几乎所有必要的粗糙度参数和滤镜。这样,对于使用接触式表面粗糙度测量仪的用户来说,能得到操作性和互换性良好的输出结果。另外,还搭载了粗糙度专用模式,可以用自动拼接功能测量样品表面直线距离最长为100 mm 的粗糙度。 OLS4100 具有与接触式表面粗糙度测量仪相同的表面轮廓参数,因此具有相互兼容的操作性和测量结果。
适应下一代参数
OLS4100 具有符合ISO25178 的粗糙度(3D)参数。通过评估平面区域,可以进行高可靠性的分析。
• LEXT OLS4100 与表面粗糙度测量仪的结果相兼容。
使用接触式表面粗糙度测量仪,无法测量比探针的针尖直径更细微的表面轮廓。而OLS4100有着微小的激光光斑直径,所以能够对微细形状进行高分辨率的粗糙度测量。
柔软的样品
带有粘性的样品
使用接触式表面粗糙度测量仪,其探针无法进入微米级的区域,所以不能对这些区域的特征进行测量。而OLS4100可以正确定位,能轻松测量出特定微小区域的粗糙度。
OLS4100 采用了白色的LED 光源和高色彩保真度的CCD 照相装置以生成清晰、色彩自然的影像,所得影像可以与高级的光学显微镜相媲美。
OLS4100 的高动态范围(HDR)功能结合了多张以不同曝光率获取的光学显微镜影像,并且分别控制着亮度、对比度、纹理和饱和度,因此HDR 可以以宽动态范围处理影像。OLS4100 尤其可以对纹理不明显的样品的彩色影像进行清晰地观察。
使用LEXTOLS4100,只需将样品放置在载物台上之后即可立即开始观察/测量。由于采用了简易的三步流程——成像、测量和报表——即使用户不熟悉激光显微镜,也可以快速掌握测量的流程。
OLS4100 的宏观图功能可以以低倍率显示大范围影像,并在宏观影像上显示一个矩形观察标记。该视场可以通过拼图设置为传统视场的441 倍。当配合电动六孔物镜转换器时,宏观图功能可以对载物台移动和倍率更改实现平滑、便捷的一键操作。可以精确预设齐焦和确定物镜的中心,并可通过一键移动载物台和调整倍率进行同步。
传统的3D 扫描需要复杂的设置,这对新手来说非常困难。LEXT OLS4100 采用了全新的智能扫描模式,即使是初次使用的用户也只需一键操作即可快速获取3D 影像。除了上下限的设置,系统也会根据要获取的影像自动设置合适的亮度。这让即使是初次使用的用户也能获得精确的高度测量和优质的影像。
3D 成像
大大缩短了获取时间
新的超快模式获取扫描影像的速度是传统快速模式的2 倍,约是精细模式的9 倍。因此,对于那些需要非常精细的Z 轴移动和*的放大倍率的样品,该模式就非常地适用,例如对刀具的进行检测。
相同时间内获取的影像数量:
实际的扫描时间根据所用倍率和Z 获取范围而有所不同。
OLS4100 还配备了带宽扫描模式,用于测量有限的目标区域,测量性能比传统模式快1/8。
在宏观图中,要观察的区域可以从大范围的视图中在自动模式中,通过设置最多625幅影像的矩形拼接尺寸,可以自动生成区域图,所需的时间大约只需要通常的一半。下一步,在区域图上所需的影像并立即开始观察。
在实时模式中,通过在屏幕上跟踪所需的区域,可以手动选择要观察的区域。当观察的样品具有不规则的形状时,该功能非常实用。
要使用智能扫描模式获取影像时,只需一键操作即可。由于智能扫描会自动调整Z 轴方向的设置,Z 轴方向的影像获取可以仅局限在所需的区域,因此可以在进行大范围大功率观察时节省很多时间。
OLS4100 在测量后可使用一键操作创建报表,而且使用编辑功能可以定制各个报表模板。将测量结果复制和粘贴到Word 或表格应用程序也非常简单,就像从数据库取回所需的影像和报表一样。
为用户设计的详细的向导功能取消了冗长的培训,让新手也能快速简单地进行操作。
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