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规格类型 T-Guard Leak Detection Sensor 可检漏率 mbar•L/ 1E-6 测量范围 5 Dekaden 测试盒压力 1 atm (Atmosphäre/Normaldruck) 操作模式 2 automatisch, 1 fortgeschritten 运载气体流量 sccm 1.000.000 探头气体流量 FINE/GROSS sccm 180 / 90 泄漏率信号的时间常数 s <1 启动时间 min <3 控制装置输入 6 x SPS Kompatibel (max.35V) 状态 / 触发器输出 8 x Relaiskontakte (max. 60V DC / 25V AC / 1A) 图形记录器输出 线性/对数 2 x 0 - 10V, konfigurierbar 建议前级泵 Membranpumpe, zweistufig 电源要求 V (dc) 24 典型功耗 Watt 100 软管连接 mm 6 保护类型 IP 40 尺寸（长x宽x高） mm 258x130x272 重量 kg 4,5
摘要:高精确连续沉积控制或共沉
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摘要:功能丰富的IC6提供提供测量
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摘要:45°C电容式膜片真空计SKYCD
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摘要:测量范围从大气压至1x10–9
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摘要:测量范围从1x10-9至1x10-2
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