SC7620 紧凑型离子溅射镀膜仪

　SC7620离子溅射镀膜仪

SC7620是一台结构紧凑且经济的扫描电镜离子溅射仪。如与可选的镀碳附件(SC7620CF)结合使用，为理想的扫描电镜喷金喷碳系统。SC7620耐用且易操作。

SC7620具有直径100㎜(4″)的玻璃腔室，使用磁控溅射头及容易更换的圆片靶。溅射头为易操作的铰链式，并具有电安全互锁装置。高压电缆带有屏蔽功能，以预防意外损坏。通过氩气针阀调整真空度，以改变等离子电流。

SC7620具有辉光放电（亲水化）工作模式。经过空气辉光放电处理后，碳膜具有亲水性和带负电，因此可以收集TEM截面切片，并易于水悬浮液的扩散。注：对于专用的全自动辉光放电解决方案，请参见GloQube Plus。

仪器特点：

•   易操作

•   磁控离子溅射头

•   桌上型，紧凑设计

•   快速循环时间

•   可选碳丝蒸镀

•   样品台高度可调

•   快速换靶（标配为金/钯合金靶）

•   符合所有新的安全标准：包括机电互锁，以确保使用镀碳附件时溅射头断电

•   可靠耐用

推荐应用：

•   常规样品溅射喷金，常用于钨灯丝扫描电镜样品制备

•   与其它贵金属比较，银镀层容易取下，较适用于博物馆和的样品镀膜

•   可选喷碳附件，用于EDS/WDS分析

•   通过辉光放电进行亲水化处理

对于SEM应用的全自动版本的喷金喷碳仪，请参见Q150R Plus。对于FE-SEM应用所需的超细颗粒镀膜，建议采用高真空镀膜仪，请参见Q150T Plus、Q150V Plus或Q150GB，如需大腔室版本的镀膜系统，请参见：Q300T T Plus、Q300T D Plus、Q300T ES Plus和K975X/K975S。