TwisTorr 84 FS
TwisTorr 84 FS 高真空涡轮分子泵采用 TwisTorr 拖动技术和安捷伦悬浮轴承,具有高性能、高可靠性及经济性。TwisTorr 技术对小分子气体(如氢气和氦气)能提供高压缩比,从而实现大抽气量和高前级耐压,进而能使用更经济实惠、更小型的前级泵。该技术使得转子能采用紧凑的设计,变得高效节能,并能保持较低的工作温度。安捷伦悬浮轴承系统降低了噪音和振动,并能保证的轴承工作条件,从而能延长工作寿命,减少系统停机时间,并能确保长时间稳定性。TwisTorr 84 FS 泵的轴承和干式润滑剂设计,使得泵无需泵油和维护,能够以任意方向安装。可选择一体式控制器或机架控制器。
性能指标
技术指标
抽速 | KF 40 | CFF 2.75 英寸 | ISO 63,CFF 4.5 英寸 | |
氩气 | 44 L/s | 57 L/s | 66 L/s | |
氮气 | 49 L/s | 56 L/s | 67 L/s | |
He | 38 L/s | 46 L/s | 63 L/s | |
氢气 | 36 L/s | 40 L/s | 53 L/s | |
全转速气体流量(与推荐前级泵一起使用) | 风冷(25 ℃) | 水冷(25 ℃,65 L/h) | ||
氮气 | 100 sccm | 100 sccm | ||
氩气 | 70 sccm | 70 sccm | ||
压缩比与前级耐压 | 压缩比 | 前级耐压 | ||
氩气 | > 1.0 x 1011 | 大于 14 mbar | ||
氮气 | ≥ 1.0 x 1011 | 大于 14 mbar | ||
He | 2.0 x 106 | 大于 12 mbar | ||
氢气 | 5.0 x 104 | 大于 4 mbar | ||
采用推荐前级泵的极限真空 (5 m3/h) | 小于 8.0 × 10-10 mbar(小于 6.0 × 10-10 Torr) | |||
抽气口法兰 | CFF 4.5 英寸,ISO 63 | |||
CFF 2.75 英寸,KF 40 | ||||
前级管道法兰 | KF16 | |||
转速 | 81000 rpm(1350 Hz 驱动频率) | |||
启动时间 | 小于 2 分钟 | |||
推荐的前级泵 | 机械: | Agilent DS-42/102 | ||
干式泵: | Agilent SH-110/IDP-3 | |||
工作位置 | 任意 | |||
操作环境温度 | 5 ℃ 至 35 ℃ | |||
空气的相对湿度 | 0 至 90%(非凝缩) | |||
烘烤温度 | 进样口法兰温度 80 ℃(ISO 法兰) | |||
进样口法兰温度 120 °C(CFF 法兰) | ||||
润滑油 | 持久润滑 | |||
冷却要求 | 气流温度:(环境温度为 5 至 35 ℃) | |||
水(如果环境高于 35 ℃,需强制水冷) | ||||
水温: | 15 ℃ 至 25 ℃ | |||
最小流量: | 65 L/h (0.30 GPM) | |||
柱压: | 2 至 4 bar(45 至 75 psi) | |||
噪声声压级 | 1 米内全转速时,小于 40 dB(A) | |||
储存温度 | -40 ℃ 至 70 ℃ | |||
高度: | 3000 m | |||
重量 kg(磅) | 泵用 ISO 63 法兰 | 2.05 kg | ||
| 泵用 CFF 4.5 英寸 | 3.50 kg | ||
| 泵用 CFF 2.75 英寸 | 3.34 kg | ||
| 泵用 KF 40 英寸 | 2.37 kg | ||
符合规范 | EMC | 61326-1 | ||
| 安全 (CE/CSA) 法规 | DIR 2006/42/CE | ||
| ROHS | DIR 2011/65/EU |
抽速曲线图
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