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TwisTorr 84 FS

TwisTorr 84 FS 高真空涡轮分子泵采用 TwisTorr 拖动技术和安捷伦悬浮轴承，具有高性能、高可靠性及经济性。TwisTorr 技术对小分子气体（如氢气和氦气）能提供高压缩比，从而实现大抽气量和高前级耐压，进而能使用更经济实惠、更小型的前级泵。该技术使得转子能采用紧凑的设计，变得高效节能，并能保持较低的工作温度。安捷伦悬浮轴承系统降低了噪音和振动，并能保证的轴承工作条件，从而能延长工作寿命，减少系统停机时间，并能确保长时间稳定性。TwisTorr 84 FS 泵的轴承和干式润滑剂设计，使得泵无需泵油和维护，能够以任意方向安装。可选择一体式控制器或机架控制器。

特性

创新的 TwisTorr 技术 — 对小分子气体能提供高压缩比，而非常小巧的转子设计则实现了高性能和最小的系统占用空间。
高前级耐压 — 允许使用更小的前级泵，从而降低了系统成本和尺寸。
安捷伦悬浮轴承系统 — 低振动，低噪音，的轴承工作条件，延长泵的使用寿命，实现使用维护成本优化，减少系统停机时间，并保证长时间稳定的抽气性能。
的轴承和干式润滑剂 — 免维护、免油，实现任意角度安装。
铜制水冷通道（可选） — 可避免腐蚀，优化热传递性能，降低用水量和使用维护成本。

性能指标

技术指标

抽速	KF 40	CFF 2.75 英寸	ISO 63，CFF 4.5 英寸
氩气	44 L/s	57 L/s	66 L/s
氮气	49 L/s	56 L/s	67 L/s
He	38 L/s	46 L/s	63 L/s
氢气	36 L/s	40 L/s	53 L/s
全转速气体流量（与推荐前级泵一起使用）	风冷（25 ℃）		水冷（25 ℃，65 L/h）
氮气	100 sccm		100 sccm
氩气	70 sccm		70 sccm
压缩比与前级耐压	压缩比		前级耐压
氩气	> 1.0 x 10¹¹		大于 14 mbar
氮气	≥ 1.0 x 10¹¹		大于 14 mbar
He	2.0 x 10⁶		大于 12 mbar
氢气	5.0 x 10⁴		大于 4 mbar
采用推荐前级泵的极限真空 (5 m3/h)	小于 8.0 × 10^-10 mbar（小于 6.0 × 10^-10 Torr）
抽气口法兰	CFF 4.5 英寸，ISO 63
	CFF 2.75 英寸，KF 40
前级管道法兰	KF16
转速	81000 rpm（1350 Hz 驱动频率）
启动时间	小于 2 分钟
推荐的前级泵	机械：			Agilent DS-42/102
	干式泵：			Agilent SH-110/IDP-3
工作位置	任意
操作环境温度	5 ℃ 至 35 ℃
空气的相对湿度	0 至 90%（非凝缩）
烘烤温度	进样口法兰温度 80 ℃（ISO 法兰）
	进样口法兰温度 120 °C（CFF 法兰）
润滑油	持久润滑
冷却要求	气流温度：（环境温度为 5 至 35 ℃）
	水（如果环境高于 35 ℃，需强制水冷）
	水温：		15 ℃ 至 25 ℃
	最小流量：		65 L/h (0.30 GPM)
	柱压：		2 至 4 bar（45 至 75 psi）
噪声声压级	1 米内全转速时，小于 40 dB(A)
储存温度	-40 ℃ 至 70 ℃
高度：	3000 m
重量 kg（磅）	泵用 ISO 63 法兰		2.05 kg
	泵用 CFF 4.5 英寸		3.50 kg
	泵用 CFF 2.75 英寸		3.34 kg
	泵用 KF 40 英寸		2.37 kg
符合规范	EMC		61326-1
	安全 (CE/CSA) 法规		DIR 2006/42/CE
	ROHS		DIR 2011/65/EU