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低能耗半导体功率器件废水处理 | |
一、废水项目概述 | |
| 某功率半导体有限公司主要产生如下：含氟清洗废水、研磨清洗废水、有机废水（因产水量较少，浓度高，委托第三方处置单位处置）、酸碱废水，废水性质主要为清洗废水，浓度较低，容易处理。废水经过系统处理后达到国家污水综合排放标准级标准和纳管排放。 | |
二、废水设计技术规范及相关标准 | |
| 本污水处理项目的设计，施工与安装严格执行国家的专业技术规范与标准，其主要规范与标准如下： | |
| ●《污水综合排放标准》 | GB8978-1996 |
| ●《钢结构设计规范》 | GB50017－2017 |
| ●《固定式钢梯和平台要求》 | GB 4053—2009 |
| ●《机械设备安装工程施工及验收规范》 | GB50231-2009 |
| ●《现场设备、工业管道焊接施工及验收规范》 | GB50236-2011 |
| ●《电力装置的继电保护和自动装置设计规范》 | GBT50062-2008 |
| ●《电气装置施工及验收规范》 | GB-50254-96 |
| ●《分散型控制系统工程设计规范》 | HGT-20573-2012 |
| ●《工业与民用供配电系统设计规范》 | GB-50052-2009 |
| ●《低压配电装置及线路设计规范》 | GB50054-2011 |
| ● 客户提供的环评资料 | |
三、废水水质和水量情况 | |
| 该厂区主要废水生产废水来源于以下： | |
| 3.1、含氟清洗废水及处理单元预估出水情况 | |||||||
| 处理工艺 | 项目 | 水量(t/a) | pH | COD（mg/l） | SS（mg/l） | F-（mg/l） | 氯化物（mg/l） |
| 一级反应沉淀池 | 进水 | 11520 | 3-4 | 50 | 25 | 300 | 30 |
| 出水 | 11520 | 4-5 | 40 | 17.5 | 60 | 30 | |
| 去除效率% | - | / | 20 | 30 | 80 | / | |
| 二级反应沉淀池 | 进水 | 11520 | 4-5 | 40 | 17.5 | 60 | 30 |
| 出水 | 11520 | 5-6 | 32 | 7 | 12 | 30 | |
| 去除效率% | - | / | 20 | 60 | 80 | / | |
| pH调节池 | 进水 | 11520 | 5-6 | 32 | 7 | 12 | 30 |
| 出水 | 11520 | 6-9 | 32 | 7 | 12 | 30 | |
| 3.2、研磨清洗废水及处理单元预估出水情况 | |||||
| 处理工艺 | 项目 | 水量(t/a) | pH | COD（mg/l） | SS（mg/l） |
| 反应沉淀 | 进水 | 3840 | 6-9 | 100 | 800 |
| 出水 | 3840 | 7-10 | 100 | 200 | |
| 去除效率% | - | / | 0 | 75 | |
| pH调节池 | 进水 | 3840 | 7-10 | 100 | 200 |
| 出水 | 3840 | 6-9 | 100 | 200 | |
| 3.3、含有机物清洗废水 |
| 有机清洗废水排放量较少，仅为144m3/a，经现场收集后委托有资质单位处理处置。 |
| |||||||||||||||||||||
| 处理工艺 | 项目 | 水量(t/d) | pH | COD | SS | 氨氮 | 总氮 | 总磷 | 硫酸盐 | 氯化物 | |||||||||||
| 一级反应沉淀 | 进水 | 77220 | 4-7 | 60 | 200 | 15 | 40 | 10 | 800 | 70 | |||||||||||
| 出水 | 77220 | 5-8 | 48 | 30 | 15 | 36 | 5 | 400 | 70 | ||||||||||||
| 去除效率% | / | / | 20 | 85 | / | 10 | 50 | 50 | / | ||||||||||||
| 二级中和 | 进水 | 77220 | 5-8 | 48 | 30 | 15 | 36 | 5 | 400 | 70 | |||||||||||
| 出水 | 77220 | 6-9 | 43 | 30 | 15 | 36 | 5 | 400 | 70 | ||||||||||||
| 去除效率% | / | / | 10 | / | / | / | / | / | / | ||||||||||||
| pH调节池 | 进水 | 77220 | 6-9 | 43 | 30 | 15 | 36 | 5 | 400 | 70 | |||||||||||
| 出水 | 77220 | 6-9 | 43 | 30 | 15 | 36 | 5 | 400 | 70 | ||||||||||||
| 经详细了解，该废水主要污染物为PH、SS值，废水性质简单，水质较稳定，未见明显复杂成分。经过化学调整PH和混凝沉淀后，可以保证达标。 |
四、处理出水指标 |
| 该生产清洗废水经处理后排放，参考标准为《污水综合排放标准》GB8978-1996标准，具体监测因子及水质指标见下表。 |
| 污水排放标准 单位：mg/L （pH值除外） | ||
| 污染物名称 | 水质标准限值 | 标准来源 |
| pH | 6～9 | 《污水综合排放标准》 GB8978-1996级标准 |
| BOD5 | 300 | |
| COD | 500 | |
| SS | 400 | |
| NH3-H | 25 | |
| 动植物油 | 10 | |
| 石油类 | 20 | |
| 磷酸盐（以p计） | 5 | |
| 总氮 | / | |
| 氨氮 | 25 | |
| 氟化物 | 20 | |
| 五、 | 清洗废水处理工艺 |
| 5.1 | 工艺流程图 |
| 5.2 | 前处理清洗废水处理工艺方案的选择与确定 |
| 5.2.1 | 含氟废水工艺说明 |
| 含氟清洗废水进入含氟清洗废水收集池后，经过PH调整、并添加氯化钙(CaCl2)产生无害的氟化钙(CaF2)沉淀，经投加混凝剂(PAC)、絮凝剂(PAM)进行混凝沉降，总除氟效率达到96%以上。含氟废水采用氯化钙作沉淀剂处理工艺，为成熟可靠工艺。 | |
| 5.2.2 | 研磨废水处理工艺说明 |
| 研磨清洗废水进入研磨废水收集池均质后，通过提升泵提升，调整pH值后加入PAC，PAM充分反应后，进入斜管沉淀池，总除SS效率达到90%，处理后废水经pH调节槽进入排放系统，产生的污泥进入污泥槽，经污泥脱水形成泥饼，外运。 | |
| 5.2.3 | 酸碱废水处理工艺说明 |
| 一般酸碱废水采用酸碱中和法处理，酸碱废水经管道收集后流入废水处理站的酸碱废水收集池；依次进入PH调整池，PH调整池中设计PH在线检测仪，根据PH情况，添加碱液后，再投加一定量的PAC和PAM絮凝剂后，进入沉淀池，防止SS值超标。 经沉淀后的废水进入pH调节槽，经检测合格后（pH值达到6~9范围内）排入公司生产废水排水管道。 | |
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