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制药网供应网 通用机械及设备 其他通用设备 控制器FC-R7700CD质量流量控制器

FC-R7700CD质量流量控制器

  • 产地
  • 所在地
  • 中国
  • 暂无

更新时间:2024-05-24

有效日期:还剩68

FC-R7700CD质量流量控制器采用橡胶密封材质,适用于常规无腐蚀性气体范围、产品具有高精度、高速应答、重复性好等特点,具有很高的性价比。

FC-R7700CD质量流量控制器广泛使用在半导体液晶产业用真空装置数据存储装置工业镀膜实验室仪器大气环境监测等行业,在CVDPVD、离子扩散、溅射、燃烧、光纤镀膜、表面处理和其他镀膜工艺中有大量使用先例并。


技术特点:

低成本
FC-R7700CD
质量流量控制器针对非腐蚀性气体和泄漏率要求不高的场合、保证了产品高性能同时,具有很好性价比。
替换方便
FC-R7700CD
质量流量控制器采用业界通用的通信方式,很容易对其他厂家的产品进行替换,从而实现提高性能和稳定性的目的。
高信赖和可靠性
FC-R7700CD
质量流量控制器优秀的统性前世上有大约在行中的产品其年目界4万只运中的产品,其一年内的返修率不到0.5%,广受客户赞誉

技术参数:

性能指标

FC-R7700CD/FC-R7700D系列

FC-R7710CD/FC-R7710D系列

FC-R7720CD/FC-R7720D系列

满量程范围

10Sccm-5Slm

N/O:6-20slm*

N/C:6-50slm**

35-200Slm

响应时间

满流量的±2%范围内,小于2

满流量的±2%范围内,小于3

精度

≤±1%满量程

≤±2%满量程

线性镀

满量程±0 5%

满量程±0 5% 1

满量程±1%

重复性

满量程±0.2%

泄漏率

1X10E-7 Pa.m ³/sec

控制范围

满流量的2%-5% #2

压差

49Kpa-275Kpa

69Kpa-275Kpa

98Kpa-275Kpa

147Kpa-275Kpa

正常工作压

490Kpa

进气压力

980Kpa

温度范围

5-45(41-113)

输入电源

+15VDC±2% 25mA

-15VDC±2% 180mA

+15VDC±2% 25mA

-15VDC±2% 200mA

功率

3.1W max

3.5W max

输入信号

0-5 VDC

输出型号

0-5 VDC

控制阀形式

常开或常闭电磁阀

密封件

氟橡胶

材质

316L316PTFE,不锈钢(氟橡胶,氯丁橡胶)

标准接口

1/4"VCRSwagelok兼容

3/8"VCR,1/4"VCR

重量

1.0KG

2.7KG

1满量程流量值大于30SLM线性度满量程±1%

2满量程流量值大于150SLM控制范围为5%-99%

3满量程流量值大于150SLM压差范围为195-296Kpa



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