供应
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MKS GM50A金属密封数字质量流量控制器，满量程范围从5 sccm – 50 slm，精度为设定值的±1%、相应速度快于700毫秒、不同气体及量程间自由切换。1.5吋宽度（GM51A除外）。EtherNet用户通讯口方便地用于设置和诊断。各种模拟（0-5V或4-20mA）和数字（RS-485、DeviceNet、Profibus、EtherCAT、Modbus）通讯接口可选。
GM50A是一种金属密封的质量流量控制器，可在多种应用场合测量和控制气体的流量，特别是可重复性要求高的场合。配上合适的压力控制器，它还可以作为压力控制器使用。
对于当今市场上的质量流量控制器，GM50A可作为直接替代的产品，标准的3英寸底座使GE50A能够直接进行安装而无需改变现有的气体管道。它具有数字和模拟两种模式，其精度为全量程的1%。
技术参数：
全量程：10SCCM，20SCCM，50SCCM，100SCCM，200SCCM，500SCCM，1000SCCM，2000SCCM，5000SCCM，10000SCCM，50000SCCM。
控制量程：2% to 99%的全量程。
测量精度：全量程的1%
灵敏度：全量程的0.1%
热机时间：小于2Min.
响应速度：小于2Sec.
输入电压：±15VDC@100ma
输出电压：0-5VDC
连接器：模拟：9Pin或15Pin或20Pin Card edge.
数字：RS485或Device net或Profibus
法兰接口：Swagelok 4VCR，Swagelok4 VCO，Swage 1/4”等
材质：316不锈钢。
例：型号GM50A013502R6M010(代表的是气体介质是氮气，流量是500sccm，配件法兰接口是Swagelok 4VCR male，通讯接口是DeviceNet，密封材料是金属密封）
GM50A质量流量控制器 采购系列号GM50A
用于标准的气体(SEMI Gas编号）
| 氮气，N2 | 013 |
| 氨气，NH3 | 029 |
| 六氟化硫，SF6 | 110 |
流量范围，SCCM满量程（相当于氮气）
| 5 | 500 |
| 10 | 101 |
| 20 | 201 |
| 50 | 501 |
| 100 | 102 |
| 200 | 202 |
| 500 | 502 |
| 1000 | 103 |
| 2000 | 203 |
| 5000 | 503 |
| 10000 | 104 |
| 20000 | 204 |
| 30000 | 304 |
| 50000 | 504 |
装配件（法兰接口）
| Swagelok 4VCR male | R |
| 1/4 Swagelok | S |
| | |
| | |
通讯接口
| Profibus | 4 |
| RS485 | 5 |
| DeviceNet | 6 |
| Analog 0 to 5 VDC（9针D型） | A |
| Analog 0 to 5VDC （15针D型） | B |
| Analog 4 to mA（15针D型） | H |
密封材料
| 标配：金属 | M |
| | |
| | |
| | |
预留MKS的未来应用
| 标准 | 0 |
固化软件版本
| 除非另有说明，MKS会安装订货日期的固化版本软件 | 10 |
满量程流量为3位数字显示，前两位表示量程流量的有效数字，由小数点分开；第三位表示10的指数
注：气体可选，替代MKS 1479A质量流量控制器
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