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| 产品型号及名称 | 真空泵 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Vacuum pump | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 用途 | Load Lock/Transfer/Metrology /PVD/Etch/Ashing /Litho/Implant | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 特点 | 绿色制造、全新系列干式真空泵 体积小、耗功低、大幅度降低成本 用于中度严苛制程的节能泵 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 技术指标 |
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