猎户座3100S系列空气分子污染物监测系统基于CEAS(腔增强吸收光谱)技术连续分析仪器,将增加半导体器件阻抗*性、保证更长的过滤器寿命、减少生产过程的停工时间。
DUKE HMI(人机交互界面)软件可以实时观察、实时测量、实时操作对不同空间不同位置的NH3、HCL、HF进行分析,软件专门针对半导体行业开发,对于深紫外光刻工艺过程中监测与控制空气分子污染(AMC)提供有力的支持,软件集成了多点采样(MS)控制功能,具有实时显示数据曲线、报警、存储、趋势、历史曲线、分析等功能。
猎户座 3100S 系统: 完善的空气分子污染(AMC)监测
实时监测空气分子污染(AMC)对于半导体生产过程极为重要。
快速监测、报警、极低浓度测量、宽测量区域、多气体的高灵敏响应等是半导体工业要求之一。
深紫外光刻工艺特别关注氨、胺类、N-甲基吡咯烷酮NMP、酸类等浓度测量,当这些气体与化学放大光刻胶反生反应时,将深深的影响半导体器件质量。
传统古老的方法多采用间接测量分析方法。包括撞击滤尘器、离子色谱、化学荧光法,这些方法分析速度太慢,操作过程太复杂,昂贵并且测量结果不精确。
DUKE采用被证明的CEAS(腔增强吸收光谱)技术解决AMC(空气分子污染物)监测难题,可快速测量痕量级NH3、HCL、HF,采用脉冲荧光法测量SO2,采用增强型GC-FID测量VOCs。
猎户座 3100S系列空气分子污染物监测系统测量痕量级NH3、HCL、HF并集成了uVOC-CAM特性,是半导体行业洁净室AMC(空气分子污染)测量的有力工具。
猎户座 3100S也集成了多点监测系统,可依序将气体抽送到分析仪或传感器,并读出测量结果。猎户座 3100S内嵌的报警、报告、分析软件是由多年半导体行业经验的工程师集体开发。
猎户座 3100S使用Ethernet、RS485/RS232或4-20mA模拟模块可以输出来自4~6台分析仪或传感器的数据。
每台分析仪配有内置计算机(Linux OS),可进行数据存储和数据输出,还支持远程网络控制,通过互联网可以连接DUKE公司总部或者当地经销商服务商,进行操作或者诊断。
使用者可以通过网络浏览器比如IE、Chrome等世界任意可以联网的地方进行操作,远程操作可实现多级管理权限控制和操作。
增强灵敏度
仪器基于CEAS(腔增强吸收光谱)技术,极简使用、便捷操作,所有部件(包括内置真空泵、键盘、鼠标、显示器等)几分钟内可开始记录数据,其他大气中的水汽、CO2、O2、甲烷等不会对HCL、HF、NH3等测量构成交叉干扰。内置计算机可以存储大量数据到内置硬盘上,可同过数字接口或者模拟接口传输数据,可通过互联网远程存储或记录数据,高质量的数据库,适合于苛刻的半导体痕量级气体应用。
检测限/精度 (1-σ) : HCl 0.1 ppb
HF 0.1 ppb
NH3 < 0.1 ppb
快速响应时间
每个通道5秒
系统即插即用
系统可在洁净间几分钟内简单操作完成
低成本
因CEAS(腔增强吸收光谱)系统不需要特别的维护保养和备品备件,所以很好的降低了使用者成本。
CEAS(腔增强吸收光谱)---原理
基于CEAS(腔增强吸收光谱)技术的仪器原理图,使用近红外波段光进行高灵敏度吸收测量,测量腔室由一组高反射率多次反射镜片组成的柱状体构成,激光束经过固态校准器(FSR=2.00GHz)时会测量得到相对激光波长。为了保证清晰度,忽略了原本照射到左侧测量单元腔镜外的光束。
EP增强型版本集成了压力传感器和内部温度控制器,具有超稳定性测量腔室,防止温度漂移、压力变化等造成的误差。
CEAS(腔增强吸收光谱)相比于*代的CRDS(腔衰荡光谱)技术,有许多已被证明的优势。简而言之,激光束不需要共振耦合进入测量腔室(例如光束不需要严格对准)。DUKE分析仪器和系统具有天生安装简单、机械牢固、防护结实等特点。
特性:
sub-ppb级实时测量
食用菌加湿器 小型球磨机 液体搅拌机 中草药粉碎机 药品包装机 硅橡胶捏合机 除湿干燥机 酸碱储罐 全自动煎药机 医用臭氧发生器 三相卧螺离心机 圆瓶贴标机 肝素钠原料药 冷冻干燥设备 全自动压滤机 小型贴标机 单效蒸发器 电热水锅炉 气流干燥机 气流喷雾干燥机 润滑油过滤器 中药材粉碎机 生物试剂网 质谱仪 手摇制丸机 卧式储罐 不锈钢压滤机 小型压滤机 微孔过滤器 微波干燥设备 微粒检测仪 气动振动器 水泥包装机 卧螺沉降离心机 瓶盖扭矩测试仪 袋泡茶包装机 中药超细磨粉机 分离机 测距仪 乳化泵 集菌仪 自动筛选机 双轴搅拌机 小型超微粉碎机 化工储罐 电热锅炉 陶瓷过滤机 移动螺旋输送机 小型砂浆搅拌机 药品检测仪器 装箱机 制冷压缩机 粉末混合机 钢衬塑储罐 小型中药粉碎机 药物中间体 离子交换设备 管道除湿机 不锈钢截止阀 锤式粉碎机 尿碘消解仪 石墨换热器 红外测温仪 卧式干粉混合机 食品搅拌机 不锈钢搅拌机 液氧储罐 紫外线灭菌器 蒸汽消音器 蒸汽消声器 小型蒸汽锅炉 不锈钢安全阀 膏体灌装机 风选设备 打码机种类 瓶盖扭力测试仪 大型臭氧发生器 二手反应釜 三轴搅拌桩机 小型电热烘箱 低温截止阀 立式储罐 立式混合机 三轴水泥搅拌桩 调温除湿机 卧式离心机 球磨机小型 吸塑包装机 药材烘干机 板框过滤机 地下室除湿机 多效蒸发器 管壳式换热器 犁刀混合机 检测仪器网 生物显微镜 环保蒸汽锅炉 低温冷冻机 干粉搅拌机 列管式换热器 小型搅拌搅拌机 二手反应釜 高压灭菌锅 压力安全阀 真空热水锅炉 污泥压滤机 吊顶除湿机 节能球磨机 汽车高压清洗机 水热反应釜 振动筛选机 制水设备 溶出度仪 余氯分析仪 激光印字机 不锈钢储罐 不锈钢贮罐 家用电锅炉 加氢反应釜 饮料灌装机 喷雾干燥器 粉体混合机 小型泥浆搅拌机 机械搅拌器 水泥砂浆搅拌机 高速混合机 蒸馏设备 煎炸油过滤机 容积式换热器 小型冷库 小冷却塔 干燥设备网 厢式压滤机 箱式压滤机 家用粉碎机 紫外线消毒器 小蒸汽锅炉 自力式减压阀 仓壁振动器 干燥剂包装机 蒸汽换热器