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微电子技术是随着集成电路,尤其是超大型规模集成电路而发展起来的一门新的技术。其发展的理论基础是19世纪末到20世纪30年代期间建立起来的现代物理学。微电子技术包括系统电路设计、器件物理、工艺技术、材料制备、自动测试以及封装、组装等一系列专门的技术,微电子技术是微电子学中的各项工艺技术的总和。
微电子元件在生产时会用到大量的清洗用水,清洗用水的水质必须要达到一定的电阻率才能保证清洗干净,不会留下残留物质,所以微电子元件对于清洗用水的水质要求非常严格。
超纯水制取工艺流程
原水箱→增压泵→石英砂过滤器→活性炭过滤器→阻垢剂→一级反渗透主机→一级纯水箱→二级反渗透主机→二级纯水箱→增压泵→紫外线杀菌器→膜滤器→EDI系统→TOC脱除器+脱气膜+抛光混床→终端膜滤器
从上述流程中可以看出,超纯水制取系统是多种设备的结合,其中反渗透设备在该工艺中承担了主要的脱盐任务,并有效地判断和确定系统的运行情况,该设备主要利用反向渗透原理,去除水中溶解盐类,同时去除一些大分子和预处理未去除的小颗粒等。反渗透设备具有以下优势:
1、在线实时监测。随时监测设备运行,保证设备运行状态。
2、脱盐率高,使用寿命长,运行成本低。
3、全自动程序控制,还可以配备触摸屏,操作简单方便。
反渗透设备在电子元件清洗用水中的应用不但能提高产水品质,降低生产成本,而且防止环境污染,有力地推进了电子工业的进步,同时也促进了超纯水制造技术的发展。
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