高真空涡轮分子泵采用 Twistorr 拖动技术和安捷伦悬浮轴承,具有高性能、高可靠性及经济性。TwisTorr 拖动技术对小分子气体(如氢气和氦气)能提供高压缩比,从而实现大抽气量和高前级耐压,进而能使用更经济实惠、更小型的前级泵。该技术使得转子能采用紧凑的设计,变得高效节能,并能保持较低的工作温度。安捷伦悬浮轴承系统降低了噪音和振动,并能保证轴承工作条件,从而能延长工作寿命,大程度缩短系统停机时间,并能确保长时间稳定的抽气性能。TwisTorr 304 FS 泵*的轴承和干式润滑剂设计,使得泵无需泵油和维护,能够以任意方向安装。可选择一体式控制器或机架控制器。
进口Agilent TwisTorr 304 FS涡轮分子泵特性:
创新的 TwisTorr 技术 — 对小分子气体能提供高压缩比,而非常小巧的转子设计则实现了高性能和小的系统占用空间。
高前级耐压 — 允许使用更小的前级泵,从而降低了系统成本和尺寸。
安捷伦悬浮轴承系统 — 低振动,低噪音,轴承工作条件,延长泵的使用寿命,实现使用维护成本优化,大程度减少系统停机时间,并保证长时间稳定的抽气性能。
*的轴承和干式润滑剂 — 免维护、免油,实现任意角度安装。
铜制水冷通道(可选) — 可避免腐蚀,优化热传递性能,降低用水量和使用维护成本。
典型涡轮泵应用
安捷伦涡轮分子泵包括集成泵组和多流路泵,其设计旨在实际应用中达到好的性能。泵的紧凑型设计满足工业中的严苛空间要求。涡旋分子泵几乎不需要维护,并可避免错误使用。无论您是终端用户还是原始设备制造商,安捷伦均可针对您的应用为您提供帮助和支持,或定制适合您的需求的系统。
典型涡轮泵应用
领域 | 详细说明 | 应用 |
质谱和分析仪器 |
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科研中的真空应用 |
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工业真空加工 |
| 薄膜沉积:
设备加工:
一般工艺:
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纳米技术仪器 |
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进口Agilent TwisTorr 304 FS涡轮分子泵性能指标:
抽速: 使用 CFF 6 英寸或 ISO 100:使用 CFF 8 英寸或 ISO 160: |
N2:250 L/s | He:255 L/s He:255 L/s |
H2:220 L/s |
Ar:250 L/s |
全转速气载(使用推荐前级泵) 环境温度 (25 °C) 水温 (25 °C,50 L/h) | N2:170 sccm N2:170 sccm | Ar:110 sccm Ar:110 sccm | ||
压缩比与前级压力关系: | N2:> 1 × 1011 N2:> 10 mbar | He:> 1 × 108 H2:> 10 mbar | H2:1.5 × 106 H2:> 4 mbar | Ar:> 1 × 1011 Ar:> 10 mbar |
极限真空*(使用推荐的前级泵) (5 m3/h) | < 1 × 10–10 mbar (< 1 × 10–10 Torr) | |||
抽气口法兰 | 8 英寸外径 CFF 2.6 英寸外径 CFF | ISO 160 ISO 100 | ||
前级管道法兰 | KF 16 NW(KF25 — 可选) | |||
转速 | 60000 rpm(1010 Hz 驱动频率) | |||
启动时间 | 小于 3 分钟 | |||
推荐的前级泵 | 机械:Agilent DS 102 干泵:Agilent SH 110 | |||
工作位置 | 任意 | |||
操作环境温度 | +5 °C 至 +35 °C | |||
空气相对湿度 | 0%–90%(无冷凝) | |||
烘烤温度 | 抽气口法兰温度 120 °C(CFF 法兰)抽气口法兰温度 80 °C(ISO 法兰) | |||
润滑油 | yognjiu性润滑 | |||
冷却要求 | 风扇冷却(环境温度 5–35 C) 水冷(如果环境高于 35 ℃,需强制水冷) | |||
冷却水 | 流速: 50 L/h (0.89 GPM) | 温度: +15 ℃ 至 +30 ℃ | 压力: 3 至 5 bar(45 至 75 psi) | |
噪声声压级 | 在 1 米处,< 50 dB(A) | |||
储存温度 | -40 °C 至 +70 °C | |||
海拔 | 3000 m | |||
重量 kg(磅): | 泵 ISO 100: | 泵 CFF 6 英寸: | 泵 ISO 160: | 泵 CFF 8 英寸:
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食用菌加湿器 小型球磨机 液体搅拌机 中草药粉碎机 药品包装机 硅橡胶捏合机 除湿干燥机 酸碱储罐 全自动煎药机 医用臭氧发生器 三相卧螺离心机 圆瓶贴标机 肝素钠原料药 冷冻干燥设备 全自动压滤机 小型贴标机 单效蒸发器 电热水锅炉 气流干燥机 气流喷雾干燥机 润滑油过滤器 中药材粉碎机 生物试剂网 质谱仪 手摇制丸机 卧式储罐 不锈钢压滤机 小型压滤机 微孔过滤器 微波干燥设备 微粒检测仪 气动振动器 水泥包装机 卧螺沉降离心机 瓶盖扭矩测试仪 袋泡茶包装机 中药超细磨粉机 分离机 测距仪 乳化泵 集菌仪 自动筛选机 双轴搅拌机 小型超微粉碎机 化工储罐 电热锅炉 陶瓷过滤机 移动螺旋输送机 小型砂浆搅拌机 药品检测仪器 装箱机 制冷压缩机 粉末混合机 钢衬塑储罐 小型中药粉碎机 药物中间体 离子交换设备 管道除湿机 不锈钢截止阀 锤式粉碎机 尿碘消解仪 石墨换热器 红外测温仪 卧式干粉混合机 食品搅拌机 不锈钢搅拌机 液氧储罐 紫外线灭菌器 蒸汽消音器 蒸汽消声器 小型蒸汽锅炉 不锈钢安全阀 膏体灌装机 风选设备 打码机种类 瓶盖扭力测试仪 大型臭氧发生器 二手反应釜 三轴搅拌桩机 小型电热烘箱 低温截止阀 立式储罐 立式混合机 三轴水泥搅拌桩 调温除湿机 卧式离心机 球磨机小型 吸塑包装机 药材烘干机 板框过滤机 地下室除湿机 多效蒸发器 管壳式换热器 犁刀混合机 检测仪器网 生物显微镜 环保蒸汽锅炉 低温冷冻机 干粉搅拌机 列管式换热器 小型搅拌搅拌机 二手反应釜 高压灭菌锅 压力安全阀 真空热水锅炉 污泥压滤机 吊顶除湿机 节能球磨机 汽车高压清洗机 水热反应釜 振动筛选机 制水设备 溶出度仪 余氯分析仪 激光印字机 不锈钢储罐 不锈钢贮罐 家用电锅炉 加氢反应釜 饮料灌装机 喷雾干燥器 粉体混合机 小型泥浆搅拌机 机械搅拌器 水泥砂浆搅拌机 高速混合机 蒸馏设备 煎炸油过滤机 容积式换热器 小型冷库 小冷却塔 干燥设备网 厢式压滤机 箱式压滤机 家用粉碎机 紫外线消毒器 小蒸汽锅炉 自力式减压阀 仓壁振动器 干燥剂包装机 蒸汽换热器