Aerotech 超高精密气浮转台

Aerotech 超高精密气浮转台
 
 
Aerotech 制造了庞大的精密旋转平台产品线供您选择，型号包括使用我们自己的内置无刷旋转伺服电机驱动的直驱转台，以及蜗轮蜗杆驱动的定位转台。其中精密直驱转台包括精密空气(气浮)轴承直驱转台和精密机械轴承直驱转台。转台具有许多不同尺寸的通孔直径、台面直径以及安装选项，为您的工业自动化应用提供理想的解决方案。平台的摆动、跳动、角度定位和速度稳定性都非常出色。Aerotech 的定位平台非常适合用于工业机器人、光纤光学和光子学、视觉系统、机床、装配、半导体设备、医疗部件激光加工、超精密微细加工、硅片检查、电子制造业、航空电子设备等高性能应用以及其他工业自动化应用。此外， Aerotech 制造的高性能驱动器和控制器可与我们的直驱旋转平台*匹配，为您提供*的运动控制解决方案。
分辨率可达 0.027-5.5 arc-sec 
双向重复性小于 1 arc-sec 
定位精度可达 ±2 arc-sec
 
 
    更多技术内容及应用请Aerotech 张巨鹏 jupeng.zhang@goldkong.com
 
ABRT-400空气轴承精密直驱转台 | ABRT-400 Air-Bearing Direct-Drive Rotary Stage | ABRT-400精密气浮直驱转台
 
ABRT-400 是 Aerotech 的 μARC 角度和旋转装置校准系统的核心。ABRT-400 是一个大的具备纳米级误差运动性能的旋转空气轴承主轴。这种高精度空气轴承主轴是用钢紧密配合μARC周围的花岗岩结构的CTE建造的。空气轴承配备有不影响旋转的接头和滑环以通过真空或空气，并且实现电气连接到被测装置。
 
ABRT-400 可以用作高精度测量设备的标准角度标定，X射线衍射，蛋白质晶体或高精度加工应用。
 
Rotary Stage | ABRT-400精密气浮直驱转台
 
ABRT-400 是 Aerotech 的 μARC 角度和旋转装置校准系统的核心。ABRT-400 是一个大的具备纳米级误差运动性能的旋转空气轴承主轴。这种高精度空气轴承主轴是用钢紧密配合μARC周围的花岗岩结构的CTE建造的。空气轴承配备有不影响旋转的接头和滑环以通过真空或空气，并且实现电气连接到被测装置。
 
ABRT-400 可以用作高精度测量设备的标准角度标定，X射线衍射，蛋白质晶体或高精度加工应用。
特点规格
● 精度： < 0.6微弧度（ < 0.12弧秒）
● zui小增量步距： 0.035微弧度（ 0.007弧秒）
● 重复性： < 0.4微弧度（ < 0.08弧秒）
● 轴向运动误差： < 50纳米同步; < 10纳米异步
● 径向运动误差： < 75纳米同步; < 10纳米异步
 
空气轴承旋转主轴
ABRT-400是Aerotech的 μARC 角度和旋转装置校准系统的核心。ABRT-400是一个大的具备纳米级误差运动性能的旋转空气轴承主轴。这种高精度空气轴承主轴是用钢紧密配合μARC周围的花岗岩结构的CTE建造的。空气轴承配备有不影响旋转的接头和滑环以通过真空或空气，并且实现电气连接到被测装置。
 
ABRT-400可以用作高精度测量设备的标准角度标定，X射线衍射，蛋白质结晶或高精度加工应用。
 
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ABRS系列空气轴承精密直驱转台 | ABRS Air-Bearing Direct-Drive Rotary Stage | ABRS系列精密气浮直驱转台
Aerotech 的 ABRS 系列旋转空气轴承平台提供的角度定位，速度稳定性和低运动误差性能在一个非常低矮的封装结构中。ABRS旨在满足晶片检查，高精度计量，X射线衍射系统，光学检查和制造，以及微机电系统/纳米器件的制造等应用的严苛要求。
 
Aerotech ABRS系列空气轴承精密直驱转台提供出色的角度定位，速度稳定性和*运动性能，并且拥有非常低矮的外形。
 
● 直驱无刷无槽伺服电机
● 非机械接触
● 零齿槽效应电机带来显著的速度稳定性
● 显著的*无抖动运动特性
● 直接耦合的高精度编码器
● 扁平设计的低矮外形
● 直径：128.1-278.1 mm
● 分辨率： 0.036-0.18 arc-sec
● 双向重复性：< 1 arc-sec
● 定位精度：±2 arc-sec
 
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ARA1000空气轴承精密直驱转台 | ARA1000 Air-Bearing Direct-Drive Rotary Stage | ARA1000精密气浮转台
Aerotech 的 ARA1000 旋转执行器代表了显著的突破性应用，如平板显示器处理加工所要求的大型有效载荷的联接方式。高负载惯量多轴系统可能遭受机械不稳定，限制整机生产效率。ARA1000 通过设计，显著提高了平台刚性，消除了这个问题。ARA1000转台采用了标准的57.2毫米通孔，它可以很容易地穿过真空线路。台面包括一个标准的安装模式，其允许非常容易地进行卡盘安装。
 
Stage | ARA1000精密气浮转台
Aerotech 的 ARA1000 旋转执行器代表了显著的突破性应用，如平板显示器处理加工所要求的大型有效载荷的联接方式。高负载惯量多轴系统可能遭受机械不稳定，限制整机生产效率。ARA1000 通过设计，显著提高了平台刚性，消除了这个问题。ARA1000转台采用了标准的57.2毫米通孔，它可以很容易地穿过真空线路。台面包括一个标准的安装模式，其允许非常容易地进行卡盘安装。
特点规格
● 高承载能力
● 高刚性
● 直接驱动无刷无槽伺服电机
● 大孔径
● 与AVL1000升降平台轻松配置多轴应用
 
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ABRS旋转气浮平台
1专为高精密检测，光学检测及制造和纳米技术设备制造应用设计
2无刷无槽伺服电机直接驱动
3突出的速度稳定性（电机无接头效应）
4的运动性能,误差小,无抖动
5直联高精度旋转编码器
6扁平结构设计
7无机械接触
台面直径128.1-278.1mm
分辨率0.18-0.036arcsec
双向重复定位精度<1arcsec 
 
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ABRT旋转气浮平台
1专为高精密检测，光学检测及制造和纳米技术设备制造应用设计
2无刷无槽伺服电机直接驱动，高扭拒输出
3突出的速度稳定性（电机无接头效应）
4的运动性能,误差小,无抖动
5直联高精度旋转编码器
6超大的空心轴径，无机械接触
台面直径100-200mm
分辨率0.055-0.027arcsec
双向重复定位精度<1arcsec

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Aerotech 超高精密气浮转台